真空腔体 6061 铝合金加工洁净度控制

问题描述

某半导体设备厂加工6061铝合金真空腔体后，组装测试时发现真空度不达标。

原因分析

原有切削液含有较多添加剂，加工后在工件表面形成残留膜。在高真空环境下，残留物挥发影响真空度。