晶圆载具 SUS304 不锈钢精密加工表面质量提升

问题描述

某半导体设备厂加工SUS304不锈钢晶圆载具时，表面出现微划痕和毛刺，导致晶圆颗粒污染。

原因分析

SUS304不锈钢韧性大，加工时容易产生毛刺和粘附。切削液中的颗粒物划伤工件表面。